项目名称: 天津大学2026年6至12月政府采购意向-原位等离子体掺杂去掺杂机详细情况

招标公司: 天津大学

采购标的物: 原位等离子体掺杂去掺杂机、电子工业生产设备

项目地区：天津 天津

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原位等离子体掺杂去掺杂机

项目所在采购意向： 天津大学2026年6至12月政府采购意向

采购单位： 天津大学

采购项目名称： 原位等离子体掺杂去掺杂机

预算金额： 203.000000万元(人民币)

采购品目：

A02330300电子工业生产设备

采购需求概况：

该设备用于有机半导体薄膜原位生长中的掺杂/去掺杂，功能上集成等离子系统、气路控制系统、高真空系统、分子束外延蒸发源和可移动变温样品台，核心参数等离子体密度大于10^17 m-3，离子能量可调，适用于N2, O2, H2, CH4, Ar等多种工作气体，支持多路气体独立或混合控制，流量范围0-100 sccm，满量程精度0.2%，真空度小于10^-5 Pa，配备石英晶振膜厚监测仪、全量程真空计，配备六个分子束外延蒸发源，蒸发源最高温度为 500 °C，温度控制精度为 0.5 °C，4英寸样品台可在z轴方向上进行10 cm范围的移动和360°旋转，温控精度 0.5°C。

预计采购时间： 2026-09

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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