项目名称: 天津大学2026年6至12月政府采购意向-磁控溅射设备详细情况

招标公司: 天津大学

采购标的物: 溅射电源、真空获得系统、高端磁控溅射设备

项目地区：天津 天津

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磁控溅射设备

项目所在采购意向： 天津大学2026年6至12月政府采购意向

采购单位： 天津大学

采购项目名称： 磁控溅射设备

预算金额： 200.000000万元(人民币)

采购品目：

A02052402真空应用设备

采购需求概况：

采购高端磁控溅射设备1台，真空获得系统、溅射电源、溅射靶材等核心部件选用一线品牌，适配纳米级多层精密薄膜制备，以保障膜层均匀性偏差≤±3%、致密度≥98%、稳定性偏差≤±3%的要求。设备要求全无油真空系统，极限真空优于8x10^-6 Pa，搭载全自动智能控制系统，满足严苛高精度镀膜工艺要求。整机符合工业安全标准，供方提供上门安装调试、实操培训，整机质保不少于2年，7×24小时售后响应；合同签订90日内完成送货、装机并通过镀膜工艺验收。

预计采购时间： 2026-09

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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