天津大学2025年9月政府采购意向-智能传感器薄膜沉积与刻蚀系统

项目名称: 天津大学2025年9月政府采购意向-智能传感器薄膜沉积与刻蚀系统

招标公司: 天津大学

采购标的物: 智能传感器薄膜沉积与刻蚀系统、智能传感器薄膜综合沉积系统、智能传感器薄膜物理和化学蚀刻系统

项目地区：天津 天津

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智能传感器薄膜沉积与刻蚀系统

项目所在采购意向： 天津大学2025年9月政府采购意向

采购单位： 天津大学

采购项目名称： 智能传感器薄膜沉积与刻蚀系统

预算金额： 297.500000万元(人民币)

采购品目：

A02330300电子工业生产设备

采购需求概况：

拟采购智能传感器薄膜综合沉积系统1套，可用于硅基介电/半导体薄膜、金属/化合物电极与敏感层、高纯度低损伤功能层的全流程制备。拟采购智能传感器薄膜物理和化学蚀刻系统1套，可用于硅基/有机材料的各向异性干法刻蚀、金属/化合物材料的深槽刻蚀、以及介质层的选择性湿法刻蚀的全工艺链加工。

预计采购时间： 2025-09

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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