天津大学2025年9月政府采购意向-感应耦合等离子体刻蚀机ICP

项目名称: 天津大学2025年9月政府采购意向-感应耦合等离子体刻蚀机ICP

招标公司: 天津大学

采购标的物: 感应耦合等离子体刻蚀机、电子工业生产设备

项目地区：天津 天津

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感应耦合等离子体刻蚀机ICP

项目所在采购意向： 天津大学2025年9月政府采购意向

采购单位： 天津大学

采购项目名称： 感应耦合等离子体刻蚀机ICP

预算金额： 169.000000万元(人民币)

采购品目：

A02330300电子工业生产设备

采购需求概况：

该设备主要目的是实现高精度、高效率的表面刻蚀。刻蚀材料包括二维材料、有机材料、硅基材料等适用性工艺。1.射频、滤波、光电等领域的多种材料刻蚀与失效分析刻蚀。2.多领域量产经验、高温工艺能力。3.提供研发所需的丰富工艺数据库支持。最大样品尺寸需要做到6英寸，具有中心进气和四周进气的功能。腔体表面要求阳极氧化处理，配备真空系统。配置5路工艺气体+1路背He。工艺参数可以通过移动存储介质导入，实现参数随工艺人员走，保证工艺的保密性。电源系统：1000w射频功率源，自动匹配；不小于500W偏压源，自动匹配。

预计采购时间： 2025-09

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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