天津工业大学政府采购意向公告-真空互联金属薄膜异质结沉积仪器

项目名称: 天津工业大学政府采购意向公告-真空互联金属薄膜异质结沉积仪器

招标公司: 天津工业大学

采购标的物: 真空互联金属薄膜异质结沉积仪器、工件台

项目地区：天津 天津

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真空互联金属薄膜异质结沉积仪器

项目所在采购意向： 天津工业大学政府采购意向公告

采购单位： 天津工业大学

采购项目名称： 真空互联金属薄膜异质结沉积仪器

预算金额： 132.000000万元(人民币)

采购品目：

采购需求概况：

1.工件台尺寸：圆形工件台，直径6英寸； 2.装载量：可装载一个6英寸样品或更小尺寸样品； 3.工作台转速：0至20转/分钟可调； 4.靶枪数量：五个可调角度靶枪； 5.靶枪尺寸：3英寸靶枪； 6.极限真空：优于5E-5Pa； 7.抽气速率：工艺腔从大气抽到5E-4Pa的时间少于30分钟； 8.漏率：优于6E-3Pa.L/s； 9.镀膜均匀性：直径6英寸范围内均匀性优于±5%； 10.膜重复性：批次间重复性优于±2% 11.膜层厚度范围：最小镀膜厚度≤1nm，最大厚膜厚度≥3000nm； 12.真空测量系统测量范围：大气到4E-7Pa，工艺压力测量精度≤0.01mTorr；

预计采购时间： 2026-05

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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